一、產品概述

GHD-101是日本ULVAC（愛發(fā)科）株式會社推出的一款搭載磁力耦合器的油回轉真空泵，隸屬于GHD系列。ULVAC是的真空技術綜合解決方案提供商，產品涵蓋從低真空到超高真空的全系列真空獲得設備。GHD系列采用創(chuàng)新的磁力耦合設計，通過非接觸式磁力傳動替代傳統(tǒng)軸封結構，從根源上解決了真空泵軸封漏油這一長期困擾行業(yè)的技術難題。

作為一款旋片式油回轉真空泵，GHD-101以低噪音、低振動和高可靠性著稱，是半導體制造、精密儀器分析、化學工藝及科研實驗等對潔凈度有嚴苛要求的應用場景的理想真空獲得設備。其緊湊的設計和寬范圍電壓馬達支持，使其具備出色的設備集成能力，能夠適配全球多種電源標準。

二、磁力耦合器技術原理

2.1 工作原理

磁力耦合器是GHD-101真空泵的核心技術，從根本上改變了傳統(tǒng)的機械接觸式傳動方式。其工作原理基于永磁體的磁場耦合作用實現(xiàn)扭矩的非接觸傳遞。

具體而言，驅動端（與電機連接）和從動端（與泵體轉子連接）分別安裝有內外兩套磁鋼轉子，中間通過一層靜止的隔離罩將二者物理隔開。當電機啟動時，外磁鋼轉子隨電機軸旋轉，其產生的旋轉磁場透過非導磁的隔離罩作用于內磁鋼轉子，內磁鋼轉子在磁場作用下同步旋轉，從而將電機動力傳遞到泵體內部。

2.2 與傳統(tǒng)軸封傳動的對比

傳統(tǒng)真空泵在電機與泵體之間的動力傳遞依靠軸封（油封）實現(xiàn)動密封。軸封屬于接觸式密封元件，在長期高速旋轉過程中必然產生磨損，逐漸導致密封性能下降，最終引發(fā)潤滑油泄漏。

GHD-101的磁力耦合技術則改變了這一局面：

通過將動力傳輸段的動密封轉化為靜態(tài)密封，磁力耦合器消除了因磨損導致的泄漏路徑，使得GHD-101特別適合對絕對潔凈度有嚴格要求的生產和實驗環(huán)境。

三、核心特點與技術優(yōu)勢

3.1 根本性解決油泄漏問題

GHD-101搭載的磁性聯(lián)軸器從結構層面杜絕了軸封部位油滲漏的可能性。這一特性使其特別適用于半導體生產、藥品制造、醫(yī)療器械等對油污無污染的高潔凈領域，即便在長期連續(xù)運行條件下也不會出現(xiàn)油品滲漏，有效保護了工藝環(huán)境的清潔度和設備運行的安全穩(wěn)定性。

3.2 顯著延長的使用壽命

非接觸式傳動大幅減少了機械摩擦磨損。與傳統(tǒng)真空泵需要定期更換軸封部件不同，GHD-101無需軸封維護，既降低了停機時間，也減少了備件庫存和運營成本。磁力耦合結構與強制潤滑機構的協(xié)同作用，進一步確保了泵體內部關鍵部件的長期穩(wěn)定運行。

3.3 高效防逆流機構

GHD-101在進氣管正下方集成了防回流止回閥。當真空泵停止運行時，止回閥自動關閉，有效防止泵內潤滑油因壓力差倒流進入真空腔體。與泵體自身配備的防返油回流機構相結合，這一設計顯著降低了待測樣品或工藝腔體被油蒸氣污染的風險。

3.4 強制潤滑機構

GHD-101配備了強制潤滑機構，確保泵體內部各運動部件在各類工作壓力下均能獲得充分的油量供給，從而維持穩(wěn)定高效的排氣速度。即使在接近大氣壓的高壓工況下運行，強制潤滑仍可有效降低機械磨損。

3.5 寬電壓馬達與國際認證

GHD-101搭載了大范圍電壓馬達，支持單相100V至240V的多種電源輸入（A/B/C/D四種子型號），已取得CE、cTUVus、TUV等國際安全認證，滿足全球不同地區(qū)的用電標準和法規(guī)要求。寬電壓設計也使得設備能夠在電壓波動較大的電網中保持持續(xù)穩(wěn)定運行。

3.6 緊湊結構與低噪音低振動

GHD-101外形尺寸僅為150mm（寬）×413.5mm（長）×234.5mm（高），重量22kg，結構極為緊湊，便于集成到各類分析儀器和生產設備中。優(yōu)化的流體通道設計和精密動平衡處理，使其在運行時保持低噪音和低振動，對周邊操作人員及敏感設備的影響降至低。

四、詳細技術規(guī)格

五、典型應用場景

5.1 半導體制造

半導體制造工藝中對潔凈度和過程穩(wěn)定性要求高，潤滑油泄漏可能直接導致晶圓污染和良率損失。GHD-101的磁力耦合設計杜絕了油泄露進入真空腔體或工藝管線的可能性，作為前級泵配合分子泵、氦質譜檢漏儀等后級設備使用，在刻蝕、沉積等高精度工藝環(huán)節(jié)中提供可靠的粗抽真空性能。

5.2 分析儀器配套

在氣相色譜-質譜聯(lián)用儀（GC/MS）、電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）、液相色譜-質譜聯(lián)用儀（LC/MS）等分析儀器中，真空系統(tǒng)的潔凈度直接決定分析結果的準確性和信噪比。GHD-101為這類精密分析儀器提供穩(wěn)定的中低真空環(huán)境，其緊湊尺寸便于集成到儀器機箱內部，低振動特性則避免了對光譜或質譜探測的干擾。

5.3 化學工藝與制藥工程

在藥品生產、精細化工合成和真空蒸餾等工藝中，油液倒流可能污染反應體系或影響產品純度。GHD-101的防回流止回閥與磁力耦合無油泄漏設計雙向保障了反應系統(tǒng)的潔凈度，確保工藝流程的安全穩(wěn)定推進。零泄漏特性使其在該領域的高度防爆和潔凈要求下均能勝任。

5.4 實驗室科研

大學實驗室、科研機構需要頻繁切換不同實驗裝置，對真空泵的通用性和維護便捷性提出了較高要求。GHD-101具備KF-25標準接口，兼容各類真空管路組件，其低噪音和低維護特性使之可以安心置于實驗室臺面長時間運行，無需頻繁更換軸封和排查油路污染問題。

5.5 氦檢漏儀前級泵

作為ULVAC HELIOT 900系列氦質譜檢漏儀的推薦前級泵，GHD-101在檢漏系統(tǒng)中抽除粗真空至中等真空區(qū)域，為檢漏儀主泵的正常工作創(chuàng)造前置條件。其高可靠性和穩(wěn)定抽速確保了檢漏操作的效率和精度。

六、安裝與維護指南

6.1 安裝注意事項

• 環(huán)境要求：GHD-101為室內專用真空泵，環(huán)境溫度應控制在7℃至40℃范圍內。請勿將設備安裝于暴露在雨水、濺水或室外的場所。

• 排氣口安全：絕對禁止堵塞排氣口或在排氣口側連接阻礙氣體通道的設備，否則會導致泵內部壓力異常升高，引發(fā)爆炸、油位計凸出或電機過載等嚴重安全事故。

• 電源匹配：根據當地電網電壓選擇對應型號（A/B/C/D），確保電壓與頻率匹配，避免電機異常運轉。

6.2 日常維護

真空泵油在運轉過程中會逐漸變質，導致抽速下降和極限壓力升高。定期檢查和更換油液是維持泵體性能的關鍵措施。

6.3 油霧處理

在接近大氣壓條件下運轉時，排氣口會產生油煙（油霧），建議在排氣口側安裝油霧過濾器（可選配件），以維持作業(yè)環(huán)境的清潔。

七、常見故障排查

八、總結

ULVAC愛發(fā)科GHD-101油回轉真空泵磁力耦合器是一款集磁力耦合傳動、強制潤滑、防逆流機構等技術于一體的創(chuàng)新型真空獲得設備。其根本性的技術突破在于用非接觸式磁力傳動替代傳統(tǒng)軸封，從結構上消除了軸封漏油問題，同時顯著降低了維護頻率和使用成本。緊湊的結構設計、寬電壓適應性和多項國際安全認證，使其成為全球范圍內面向中低真空需求的主流產品之一。

在半導體、分析儀器、化學制藥及科研實驗等領域，GHD-101的零泄漏潔凈特性、可靠穩(wěn)定的抽速性能和低噪音運行表現(xiàn)得到了廣泛的工程驗證。對于需要長期穩(wěn)定運行的油回轉真空泵應用場景，GHD-101提供了一個在潔凈度、耐用性和維護簡易性之間取得良好平衡的成熟技術方案。